一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的硼扩散装置

专利主权项内容

1.一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的硼扩散装置，包括：扩散炉体、设置于所述扩散炉体的炉膛内的至少两个载料舟托和向所述扩散炉体的炉膛内送入气体的进气结构以及将所述扩散炉体的炉膛内气体输送出去的抽气结构，其特征在于，所述进气结构包括出气口位于所述扩散炉体的尾部的端部进气管部件和出气口位于所述扩散炉体中部的中部进气管部件，所述中部进气管部件包括输送气体的进气输送管和位于进气输送管前端的用于将气体释放到炉膛内的释放端部，所述释放端部包括主体，所述主体具有与进气输送管相通的内腔和与内腔相连通的释放喷头，所述炉膛顶部内壁上还设置有返流扩散板，所述释放喷头的出气口对准所述返流扩散板；所述释放喷头包括出气方向为第一方向的第一喷头和出气方向为第二方向的第二喷头，所述第一方向与第二方向之间具有夹角A，且，分别位于载料舟托中心轴所在竖直平面的两侧，夹角A介于90°至135°之间。