键合晶圆气泡检测装置及分选方法
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06
- 发明人: 无锡星微科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 键合晶圆气泡检测装置及分选方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410158338.3 |
| 申请日 | 2024/2/4 |
| 公告号 | CN117690820A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 王兆昆 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06 |
摘要文本
本发明提供了一种键合晶圆气泡检测装置及分选方法，具体涉及半导体制造技术领域。该键合晶圆气泡检测装置，包括，装载平台，装载平台包括至少两个承载台，由于设置有多个装载台，能够同时进行检测提高了检测效率，并且多个承载台共用同一个探头减少了探头的占用空间，降低了成本，同时承载台侧面设置有限位块，限位块用于控制承载台的位移距离，避免多个承载台在运动过程中发生碰撞，并且多个承载台通过轮换探头检测的过程，不仅提高了检测时间，同时降低了该检测装置的成本，减少了占用空间。
专利主权项内容
1.键合晶圆气泡检测装置，包括：装载平台(2)，所述装载平台(2)包括至少两个承载台(21)，所述承载台(21)下方连接有第一运动基板(222)，所述第一运动基板(222)一侧连接有第一线路板(221)，所述第一线路板(221)下方连接有承重台(242)，所述承重台(242)侧方设置有检测组件(1)，所述承载台(21)内安装有吸盘组件(3)，其特征在于，所述检测组件(1)包括检测基板(16)，所述检测基板(16)上设置有至少两条第一滑轨(15)，所述第一滑轨(15)上滑动安装有连接件(11)，所述连接件(11)一端连接有第一电机(12)，所述第一电机(12)下方转动连接有检测转台(13)，所述检测转台(13)上固定安装有探头(14)，所述探头(14)设于所述吸盘组件(3)上方, 所述吸盘组件(3)包括上环体(31)，所述上环体(31)中心开孔设置，且所述上环体(31)中部开设有环形腔(311)，所述上环体(31)下端连接有下环体(34), 所述上环体(31)内安装有矫正组件(32)，所述矫正组件(32)包括有矫正环体(321)，所述矫正环体(321)侧面连接有至少三块连接板体(322)，所述连接板体(322)侧端面滑动连接有矫正块(323)，所述矫正块(323)下端面连接有第一弹簧(324)，所述第一弹簧(324)一端连接有弹性板(325)，所述弹性板(325)设于所述环形腔(311)上, 所述矫正环体(321)中心开设通孔，该通孔内安装有吸盘(33)，所述吸盘(33)上开设有吸盘孔体(331)，所述吸盘(33)端部还设置有升降组件(35)，所述升降组件(35)设于所述下环体(34)内。