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一种薄膜测量装置、方法、电子设备和存储介质
申请人信息
- 申请人:无锡卓海科技股份有限公司
- 申请人地址:214028 江苏省无锡市新吴区珠江路97号
- 发明人: 无锡卓海科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种薄膜测量装置、方法、电子设备和存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410070644.1 |
| 申请日 | 2024/1/18 |
| 公告号 | CN117589074A |
| 公开日 | 2024/2/23 |
| IPC主分类号 | G01B11/06 |
| 权利人 | 无锡卓海科技股份有限公司 |
| 发明人 | 戴丹蕾; 相宇阳; 俞胜武; 陈剑 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区珠江路97号 |
摘要文本
本发明提供一种薄膜测量装置、方法、电子设备和存储介质，包括：光源模块、处理模块和信号发送接收模块；所述信号发送接收模块包括信号输入端、信号发射端、信号接收端和信号输出端；所述光源模块用于输出检测光信号；所述信号发射端用于向待测薄膜发射所述检测光信号，所述信号接收端用于接收被所述待测薄膜反射的反射光信号；所述处理模块用于根据所述反射光信号分析所述待测薄膜的厚度，从而实现抛光过程的薄膜厚度的实时检测，避免薄膜抛光不足或过抛，从而大大提升了晶圆良率和生产效率。
专利主权项内容
1.一种在线薄膜测量装置，其特征在于，包括：光源模块、处理模块和信号发送接收模块；所述信号发送接收模块包括信号输入端、信号发射端、信号接收端和信号输出端；所述光源模块与所述信号输入端连接； 所述光源模块用于输出检测光信号；所述信号发射端和所述信号接收端均设置在晶圆抛光台表面，且所述信号发射端的发射平面和所述信号接收端的接收平面与所述晶圆抛光台表面在同一平面上；所述信号发射端用于向待测薄膜发射所述检测光信号，所述信号接收端用于接收被所述待测薄膜反射的反射光信号；所述处理模块包括处理单元和光源检测单元，所述光源检测单元与所述信号输出端连接，所述处理单元与所述光源检测单元连接；所述光源检测单元用于根据所述反射光信号得到光强与波长关系的数据，并将所述光强和波长关系数据发送至所述处理单元；所述处理单元用于根据所述光强和波长关系数据得到功率谱密度函数，根据所述功率谱密度函数计算所述待测薄膜的厚度值。 微信公众号