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一种校准装置及具有该校准装置的晶圆传输系统
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06
- 发明人: 无锡星微科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种校准装置及具有该校准装置的晶圆传输系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410172003.7 |
| 申请日 | 2024/2/7 |
| 公告号 | CN117727676A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 王兆昆 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06 |
摘要文本
本发明公开了一种校准装置及具有该校准装置的晶圆传输系统，属于半导体传输技术领域，该校准装置包括承载台，承载台上设有定位机构，定位机构包括底板，底板设有导轨，导轨上滑动连接有能够装载晶圆的定位架，定位架末端设有定位柱，定位架连接有电控推杆，定位架有两个且沿导轨的延伸方向对向布设，两个定位架能够在导轨上反向同步滑移。本发明能实现晶圆的快速、无损伤定位，提高了晶圆校准和传输效率。。数据由马 克 数 据整理
专利主权项内容
1.一种校准装置，包括：承载台(1)，所述承载台(1)能够水平移动，所述承载台(1)上设有定位机构(2)，其特征是：所述定位机构(2)包括底板(20)，所述底板(20)设有导轨(21)，所述导轨(21)上滑动连接有能够装载晶圆的定位架(22)，所述定位架(22)末端设有定位柱(23)，所述定位架(22)连接有电控推杆(24)，所述定位架(22)有两个且对向布设，两个所述定位架(22)能够在所述导轨(21)上反向同步滑移，所述底板(20)中心设有吸附件(25)，所述吸附件(25)包括套体(250)，所述套体(250)固定于底板(20)上端面且位于所述定位架(22)之间，所述套体(250)侧方设有插孔(251)，所述定位架(22)固定有与所述插孔(251)配合的插柱(252)，所述套体(250)上设有吸盘(253)，所述吸盘(253)中部设有气孔(254)。 （）