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检测窗口确定方法及装置
申请人信息
- 申请人:江苏元夫半导体科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号
- 发明人: 江苏元夫半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 检测窗口确定方法及装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410228703.3 |
| 申请日 | 2024/2/29 |
| 公告号 | CN117810110A |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 江苏元夫半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区行创四路7号 |
摘要文本
本申请公开了一种检测窗口确定方法及装置，其中，检测窗口应用于CMP终点检测中，方法包括：获取终点检测曲线；对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；根据终点检测曲线中斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。本申请公开的上述技术方案，基于终点检测曲线预测确定CMP终点检测中检测窗口的大小和类型，从而提高CMP终点检测中检测窗口设定的准确性，以提高工艺控制能力和产品良率，并提高检测窗口设定效率。
专利主权项内容
1.一种检测窗口确定方法，其特征在于，检测窗口应用于CMP终点检测中，所述检测窗口确定方法包括：获取用于进行CMP终点检测的终点检测曲线；对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；获取所述终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；获取所述斜率阶段中各时间点的斜率，利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度。