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一种晶圆预对准装置
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06
- 发明人: 无锡星微科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆预对准装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410160859.2 |
| 申请日 | 2024/2/5 |
| 公告号 | CN117712006A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 贺慧平; 高俊 |
| 地址 | 江苏省无锡市菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06 |
摘要文本
本发明公开了一种晶圆预对准装置，属于晶圆检测技术领域，晶圆预对准装置包括基座，基座上方配置有校准组件和视觉检测组件，校准组件能够在视觉检测组件的下方往返移动；校准组件包括校准壳体，校准壳体的下方配置有输气管，输气管与校准壳体气路连通；校准壳体的顶部设有开口；校准壳体的内部配置有吸盘，吸盘配置吸附孔体，吸盘外侧边缘配置校准基块，校准基块能够沿吸盘的径向往返移动；校准基块内侧边缘配置转动件，转动件能够绕竖直轴线转动。本发明结构简单，能够实现对晶圆的精准定位，并降低晶圆磨损率。
专利主权项内容
1.一种晶圆预对准装置，包括基座(10)，其特征在于，所述基座(10)上方配置有校准组件(20)和视觉检测组件(11)，所述校准组件(20)能够在所述视觉检测组件(11)的下方往返移动；所述校准组件(20)包括校准壳体(21)，所述校准壳体(21)的下方配置有输气管(14)，所述输气管(14)与所述校准壳体(21)气路连通；所述校准壳体(21)的顶部设有开口；所述校准壳体(21)的内部配置有吸盘(23)，所述吸盘(23)配置有吸附孔体(24)；所述吸盘(23)的外侧边缘配置有校准基块(25)，所述校准基块(25)能够沿所述吸盘(23)的径向往返移动；所述校准基块(25)的内侧边缘配置有转动件(30)，所述转动件(30)能够绕竖直轴线转动；所述输气管(14)的内部配置有整流件(40)，所述整流件(40)包括长条状的整流壳体(41)，所述整流壳体(41)的内部配置有沿长度方向延伸的第一通道(42)，所述第一通道(42)的外侧设有上下贯通的第二通道(43)；所述第二通道(43)的内部沿长度方向布设有装配板(50)，所述装配板(50)的外缘与所述第二通道(43)的内侧壁抵接，所述装配板(50)配置有通孔(51)。