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一种难熔金属毛细管及其制备方法
申请人信息
- 申请人:海朴精密材料(苏州)有限责任公司
- 申请人地址:215211 江苏省苏州市吴江区黎里镇临沪大道北侧1508号
- 发明人: 海朴精密材料(苏州)有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种难熔金属毛细管及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410149416.3 |
| 申请日 | 2024/2/2 |
| 公告号 | CN117684148A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | C23C16/14 |
| 权利人 | 海朴精密材料(苏州)有限责任公司 |
| 发明人 | 谭成文; 于晓东; 刘丽君; 檀成鹏; 刘贵阳 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴江区黎里镇临沪大道北侧1508号 |
摘要文本
本发明属于难熔金属加工技术领域，具体涉及一种难熔金属毛细管及其制备方法。包括：步骤1：提供化学气相沉积室，在化学气相沉积室气体流入口下方存在第一隔板，在第一隔板和气体流入口之间的区域内存在第二隔板，二者之间的区域构成气相沉积室；步骤2：在隔板上存在若干环形均匀分布的布气孔；步骤3：将隔板上的部分布气孔作为基体固定孔用于固定金属丝基体，同时在金属丝基体的底部安装配重物；步骤4：将难熔金属前驱体和氢气通过气流入口供给到沉积室中并通过化学气相沉积在金属丝基体上形成难熔金属毛细管。该方法具备工序简单、成本低、良品率高、制备多种不同内径尺寸的单芯难熔金属毛细管和/或多芯难熔金属毛细管的优点。。（来 自 ）
专利主权项内容
1.一种难熔金属毛细管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：提供一个化学气相沉积室，在所述化学气相沉积室气体流入口下方存在第一隔板，在第一隔板和气体流入口之间的区域内存在第二隔板，第一隔板和第二隔板之间的区域构成气相沉积室；步骤2：在所述第一隔板和第二隔板上存在若干环形均匀分布的布气孔；步骤3：将所述第一隔板和第二隔板上的部分布气孔作为基体固定孔用于固定金属丝基体，同时在所述金属丝基体的底部安装配重物；步骤4：将难熔金属前驱体和氢气通过气流入口供给到沉积室中并通过化学气相沉积在金属丝基体上形成难熔金属毛细管，得到带芯难熔金属毛细管。