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晶圆搬运机械手传动部件磨损自适应定位补偿方法及系统
申请人信息
- 申请人:泓浒(苏州)半导体科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
- 发明人: 泓浒(苏州)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆搬运机械手传动部件磨损自适应定位补偿方法及系统 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202410062027.7 |
| 申请日 | 2024/1/16 |
| 公告号 | CN117565063B |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | B25J9/16 |
| 权利人 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 林坚; 王彭; 吴国明; 王栋梁 |
| 地址 | 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室 |
摘要文本
本发明属于搬运机械手技术领域，本发明公开了晶圆搬运机械手传动部件磨损自适应定位补偿方法及系统；方法包括：根据传动顺序依次对i个齿轮设定序号；采集i个齿轮的转动量以及i个齿轮对应序号；根据每个齿轮实际转动量与每个齿轮标准转动量计算每个齿轮的偏差转动量；偏差转动量为第i个齿轮实际转动量与第i个齿轮标准转动量之间的差值；将i个齿轮实际转动量以及i个齿轮对应序号r输入预构建的定位补偿模型中，输出驱动电机的转动补偿量；根据转动补偿量在预设时间内控制驱动电机驱动轴增加转动补偿量，以使得搬运机械手执行末端到达预定的位移量；提升对晶圆的搬运效率。。
专利主权项内容
1.晶圆搬运机械手传动部件磨损自适应定位补偿方法，搬运机械手传动部件包括驱动电机、i个齿轮以及传动皮带轮，i个齿轮件依次通过传动皮带轮传动连接，其中i个齿轮中的一个齿轮与驱动电机驱动轴同心固定，i为大于1的整数，其特征在于，包括：根据传动顺序依次对i个齿轮设定序号；采集i个齿轮的转动量以及i个齿轮对应序号；根据每个齿轮实际转动量与每个齿轮标准转动量计算每个齿轮的偏差转动量；偏差转动量为第i个齿轮实际转动量与第i个齿轮标准转动量之间的差值；将i个齿轮实际转动量以及i个齿轮对应序号输入预构建的定位补偿模型中，输出驱动电机的转动补偿量；根据转动补偿量在预设时间内控制驱动电机驱动轴增加转动补偿量，以使得搬运机械手执行末端到达预定的位移量。