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一种用于晶圆搬运系统的速度控制系统及方法
申请人信息
- 申请人:泓浒(苏州)半导体科技有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
- 发明人: 泓浒(苏州)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于晶圆搬运系统的速度控制系统及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410192162.3 |
| 申请日 | 2024/2/21 |
| 公告号 | CN117735414A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | B66C13/48 |
| 权利人 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 林坚; 王彭; 吴国明; 王栋梁 |
| 地址 | 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室 |
摘要文本
本发明属于天车控制技术领域，本发明公开了一种用于晶圆搬运系统的速度控制系统及方法；包括：接收天车端采集的运行数据，运行数据包括天车位置和天车数据；对天车数据进行分析，获取天车对应的制动距离，并判断天车所在运行轨道的类型；根据天车位置，获取m辆天车，m辆天车下一个到达的区段均为同一个区段，且当前均处于不同的区段，并均标记为后置天车，计算m辆后置天车对应的优先系数；根据优先系数判断m辆后置天车的运行顺序；计算m辆后置天车的到达时间和跟随距离，判断是否生成控制指令，根据控制指令对对应的后置天车进行控制；本发明实现精准的多车联动速度控制，提高天车运行安全性和效率。
专利主权项内容
1.一种用于晶圆搬运系统的速度控制方法，其特征在于，应用于云端平台中，包括：接收天车端采集的运行数据，运行数据包括天车位置和天车数据，天车数据包括天车速度、转弯半径、运输质量以及最大制动力；对天车数据进行分析，获取天车对应的制动距离，并判断天车所在运行轨道的类型；根据天车位置，获取m辆天车，m辆天车下一个到达的区段均为同一个区段，且m辆天车当前均处于不同的区段，将m辆天车均标记为后置天车，计算m辆后置天车对应的优先系数；根据优先系数判断m辆后置天车的运行顺序；计算m辆后置天车的到达时间和跟随距离，预设距离阈值，根据到达时间、跟随距离以及距离阈值分别判断是否生成控制指令，根据控制指令对对应的后置天车进行控制。 百度马 克 数据网