一种超高真空环境的晶圆传送载具的控制系统及方法

专利主权项内容

1.一种超高真空环境的晶圆传送载具的控制方法，其特征在于，包括：采集待传送晶圆的第一数据信息以及传送载具的第二数据信息；对第一数据信息和第二数据信息进行数据处理，获取传送载具的晶圆运载数量信息；对晶圆运载数量信息和第二数据信息进行数据处理，获取传送载具上晶圆码垛的垛数和码垛晶圆最多的一垛重心高度数据；采集运输载具的移动路径数据信息，根据路径节点关系对整个移动路径进行分段，从而将整个移动路径分割成i个子路段，i为大于等于1的整数，并对i个子路段进行标记，依次标记为1、2、……、i；采集每个子路段的子路段环境信息，所述子路段环境信息包括坡度值和曲率值；根据第i个子路段环境信息和重心高度数据生成速度控制系数，根据速度控制系数判断生成运输载具在第i个子路段的移动速度等级。