晶圆搬运机械臂动态路径调整系统及方法

专利主权项内容

1.晶圆搬运机械臂动态路径调整方法，其特征在于，包括：将搬运机械臂的执行末端预设标准路径划分n个路径点；采集执行末端的路径点特征数据，路径点特征数据包括第n个路径点的移动状态数据与第n+1路径点标准姿态数据；移动状态数据包括实时姿态数据、预设姿态调整速度与移动速度；将路径点特征数据输入至预构建的机器学习模型中，获得机械臂执行末端在第n个路径点至第n+1路径点的误差调整时间；获取实际第n个路径点至第n+1路径点的距离，以及移动速度，计算得到实际第n个路径点移动至第n+1路径点的移动时间；将误差调整时间与移动时间比对分析，判定是否生成预警信息；若生成预警信息，将执行末端在实时姿态数据与第n+1路径点标准姿态数据输入至预构建的姿态速度预测模型中，获得预测的姿态调整速度；根据预测的姿态调整速度，判定是否生成执行指令或停止指令；根据停止指令，暂停搬运机械臂移动；根据执行指令，将预测的姿态调整速度替换预设姿态调整速度。