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一种除DMS的过滤材料以及过滤器滤芯
申请人信息
- 申请人:爱美克空气过滤器(苏州)有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市苏州市工业园区长阳街116号
- 发明人: 爱美克空气过滤器(苏州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种除DMS的过滤材料以及过滤器滤芯 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410192479.7 |
| 申请日 | 2024/2/21 |
| 公告号 | CN117815775A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | B01D39/06 |
| 权利人 | 爱美克空气过滤器(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 袁晨阳; 严燕芳; 刘志庆; 张文俊; 黄子恒 |
| 地址 | 江苏省苏州市苏州市工业园区长阳街116号 |
摘要文本
本发明涉及一种除DMS的过滤材料以及过滤器滤芯。本发明的除DMS的过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％?91％，所述高锰酸钾的含量占9?12.5％。基于高锰酸钾与DMS反应生成二甲基亚砜这一化学反应，采用高锰酸钾作为滤料的主要反应成分对由半导体制造产生的DMS进行去除，其去除效率高达94.1％，解决了DMS影响器件性能、导致晶圆废弃等问题。
专利主权项内容
1.一种除DMS的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％-91％，所述高锰酸钾的含量占9-12.5％。