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一种芯片生产用基板取放设备及其工作方法
申请人信息
- 申请人:苏州锐杰微科技集团有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市高新区金山东路78号1幢Z101室
- 发明人: 苏州锐杰微科技集团有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种芯片生产用基板取放设备及其工作方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410144949.2 |
| 申请日 | 2024/2/1 |
| 公告号 | CN117672938A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 |
| 发明人 | 宋见; 卓建方; 丁国伟 |
| 地址 | 江苏省苏州市高新区金山东路78号1幢Z101室 |
摘要文本
本发明属于电子元件技术领域，具体涉及一种芯片生产用基板取放设备及其工作方法，通过运输装置，所述运输装置适于运输载具；搬运装置，所述搬运装置设置在所述运输装置上方，所述搬运装置适于将基板吸取后移动至所述载具的上方；剥离装置，所述剥离装置设置在所述运输装置上方，所述剥离装置适于将搬运装置吸取的基板剥离在载具上；实现了将基板准确的放置在载具上，并且确保基板在载具上可以精确的限位。
专利主权项内容
1.一种芯片生产用基板取放设备，其特征在于，包括：运输装置，所述运输装置适于运输载具；搬运装置，所述搬运装置设置在所述运输装置上方，所述搬运装置适于将基板吸取后移动至所述载具的上方；剥离装置，所述剥离装置设置在所述运输装置上方，所述剥离装置适于将搬运装置吸取的基板剥离在载具上。 （来 自 ）