一种光学镜片镀膜方法

专利主权项内容

1.一种光学镜片镀膜方法，其特征在于：该方法采用镀膜系统进行工作，该系统包括信息模块、测厚模块和处理模块，所述信息模块与测厚模块和处理模块均电连接，所述信息模块用于对膜层测厚的数据进行储存和统计，并进行分析计算，所述测厚模块用于利用X射线进入膜层后的衍射现象进行膜层的测厚，所述处理模块用于对光学镜片执行准分子激光镀膜；所述处理模块包括准分子激光发射器、金属靶材释放单元、激光聚焦单元、基板承接座，所述金属靶材释放单元与基板承接座机械连接，所述准分子激光发射器与激光聚焦单元机械连接，所述准分子激光发射器用于激发原子或分子产生激光，所述激光聚焦单元用于将激光束聚焦到靶材上，所述金属靶材释放单元用于释放金属靶材并沉积到光学镜片表面，所述基板承接座用于放置待镀膜的光学镜片；所述测厚模块包括X射线发射单元、X射线接收单元、反射区域规划模块、X射线控制模块、面积计算模块，所述反射区域规划模块与面积计算模块电连接，所述X射线控制模块与X射线发射单元电连接，所述X射线发射单元用于向光学镜片上的膜层提供X射线束的发射源，所述X射线接收单元用于接收经过膜层衍射的X射线，所述X射线控制模块用于控制X射线向光学镜片的入射位置，所述反射区域规划模块用于根据设计参数对光学镜片上的平面区域及槽区进行区域的划分，所述面积计算模块用于根据划分的区域对平面区域及槽区的面积占比进行计算；所述信息模块包括衍射分析模块、激光控制模块、数据储存模块，所述衍射分析模块与X射线接收单元电连接，所述数据储存模块与衍射分析模块和X射线接收单元电连接，所述激光控制模块与激光聚焦单元电连接，所述衍射分析模块用于根据X射线的衍射光线角度进行膜层厚度的分析，所述激光控制模块用于控制准分子激光束的方向和强度，所述数据储存模块用于存储光学镜片的历史厚度数据和X射线的衍射角度数据。