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一种导电金属薄膜制备用蒸发舟放置设备
申请人信息
- 申请人:深圳市镭煜科技有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区兴亿辉工业园3号101
- 发明人: 深圳市镭煜科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种导电金属薄膜制备用蒸发舟放置设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420017727.X |
| 申请日 | 2024/1/3 |
| 公告号 | CN222119363U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C14/24 |
| 权利人 | 深圳市镭煜科技有限公司 |
| 发明人 | 罗能铁 |
| 地址 | 广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区兴亿辉工业园3号101 |
摘要文本
本实用新型公开了一种导电金属薄膜制备用蒸发舟放置设备，包括正极座移动机构和蒸发舟放置机构，所述正极座移动机构用于调节正极座和负极座之间的间距夹紧或松开蒸发舟，蒸发舟放置机构用于在正极座和负极座松开蒸发舟时更换蒸发舟。本实用新型通过正极座移动机构和蒸发舟放置机构可以更换正极座和负极座之间的蒸发舟，正极座移动机构和蒸发舟放置机构的自动操作，实现了对蒸发舟的自动夹紧和更换，结构简单，方便实用，可以实现蒸发舟的批量放置，减轻了工人的劳动强度，而且每个蒸发舟拆卸为机械化操作，放置标准统一，保证蒸镀生产质量。
专利主权项内容
1.一种导电金属薄膜制备用蒸发舟放置设备，其特征在于，包括正极座移动机构和蒸发舟放置机构，所述正极座移动机构用于调节正极座和负极座之间的间距夹紧或松开蒸发舟，蒸发舟放置机构用于在正极座和负极座松开蒸发舟时更换蒸发舟；
所述正极座移动机构包括正极座丝杠副，所述正极座丝杠副的滑块上设置有正极座输送板，正极座设置在所述正极座输送板上；
所述蒸发舟放置机构包括蒸发舟固定工装和三轴移动组件，所述蒸发舟固定工装与所述正极座上的蒸发舟安装槽一一对应，所述蒸发舟固定工装用于放置蒸发舟，所述三轴移动组件移动所述蒸发舟固定工装用于安装或卸下正极座和负极座之间的蒸发舟。