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一种蒸发组件及真空镀锂装置
申请人信息
- 申请人:安迈特科技(北京)有限公司
- 申请人地址:102400 北京市房山区弘安路87号院5号楼2层222室
- 发明人: 安迈特科技(北京)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种蒸发组件及真空镀锂装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420241304.6 |
| 申请日 | 2024/1/31 |
| 公告号 | CN222119364U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C14/24 |
| 权利人 | 安迈特科技(北京)有限公司 |
| 发明人 | 杨怀超; 唐振勇; 孙欣森 |
| 地址 | 北京市房山区弘安路87号院5号楼2层222室 |
摘要文本
本公开提供了一种蒸发组件及真空镀锂装置，蒸发组件包括：蒸发皿(110)，所述蒸发皿(110)具有大致平行的第一面(111)和第二面(112)，所述第一面(111)开设有容置槽(113)；蒸发内胆(120)，所述蒸发内胆(120)可拆卸安装在所述容置槽(113)内；其中，所述蒸发内胆(120)开设有多个通孔(121)；当所述蒸发内胆(120)装配于所述容置槽(113)内时，所述通孔(121)大致垂直于所述第一面(111)和所述第二面(112)。本公开通过设置蒸发内胆来限制靶材蒸汽的流向，靶材蒸汽经过通孔的限位，蒸发云被收束，减小蒸发云的扩散，完成定向蒸发。使得靶材的蒸发云更加集中，减少靶材在腔室沉积的分布，提高锂蒸发利用率。。来自
专利主权项内容
1.一种蒸发组件，其特征在于，包括：
蒸发皿(110)，所述蒸发皿(110)具有大致平行的第一面(111)和第二面(112)，所述第一面(111)开设有容置槽(113)；
蒸发内胆(120)，所述蒸发内胆(120)可拆卸安装在所述容置槽(113)内；
其中，所述蒸发内胆(120)开设有多个通孔(121)；当所述蒸发内胆(120)装配于所述容置槽(113)内时，所述通孔(121)大致垂直于所述第一面(111)和所述第二面(112)。