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一种真空镀膜设备用工件夹具

申请号: CN202323625954.5
申请人: 江苏索腾真空科技有限公司
更新日期: 2026-03-24

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种真空镀膜设备用工件夹具
专利类型 实用新型
申请号 CN202323625954.5
申请日 2023/12/29
公告号 CN222119373U
公开日 2024/12/6
IPC主分类号 C23C14/50
权利人 江苏索腾真空科技有限公司
发明人 刘宸佳; 吴泽
地址 江苏省无锡市江阴市港城大道988号21-1

摘要文本

本实用新型公开了一种真空镀膜设备用工件夹具,属于真空镀膜机技术领域。主要包括支撑架,所述支撑架的底部周向均匀分布有若干支撑轴,所述支撑轴远离支撑架的一端固定有固定夹板,所述固定夹板上分布有若干第一镀膜孔,所述固定夹板的一侧安装有活动夹板,所述活动夹板上分布有若干与第一镀膜孔位置对应的第二镀膜孔,所述固定夹板的两侧设置有两个第一安装孔,所述活动夹板上设置有与第一安装孔位置对应的第二安装孔,所述活动夹板远离固定夹板的一侧设置有两个与第一安装孔位置对应的螺纹杆,所述螺纹杆靠近固定夹板的一端穿过第一安装孔和第二安装孔后螺纹连接有螺帽。本申请的一种真空镀膜设备用工件夹具达到使用方便的效果。

专利主权项内容

1.一种真空镀膜设备用工件夹具,其特征在于:包括支撑架(1),所述支撑架(1)的底部周向均匀分布有若干支撑轴(11),所述支撑轴(11)远离支撑架(1)的一端固定有固定夹板(2),所述固定夹板(2)上分布有若干第一镀膜孔(21),所述固定夹板(2)的一侧安装有活动夹板(3),所述活动夹板(3)上分布有若干与第一镀膜孔(21)位置对应的第二镀膜孔(31),所述固定夹板(2)的两侧设置有两个第一安装孔(23),所述活动夹板(3)上设置有与第一安装孔(23)位置对应的第二安装孔(33),所述活动夹板(3)远离固定夹板(2)的一侧设置有两个与第一安装孔(23)位置对应的螺纹杆(4),所述螺纹杆(4)靠近固定夹板(2)的一端穿过第一安装孔(23)和第二安装孔(33)后螺纹连接有螺帽(41)。