一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备
申请人信息
- 申请人:杭州灵犀微光科技有限公司
- 申请人地址:311231 浙江省杭州市萧山区宁围街道萧山科技城钱农一路2号金帝·新道蓝谷6号楼1层101室
- 发明人: 杭州灵犀微光科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420648272.1 |
| 申请日 | 2024/3/29 |
| 公告号 | CN222119376U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 杭州灵犀微光科技有限公司 |
| 发明人 | 陈志成; 李茂云; 廖育民; 郑昱 |
| 地址 | 浙江省杭州市萧山区宁围街道萧山科技城钱农一路2号金帝·新道蓝谷6号楼1层101室 |
摘要文本
本实用新型涉及一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备，该独立自传系统包括框架体，框架体的第一相对框内侧壁设有多个第一通孔，框架体的第二相对框内侧壁设有多个第二通孔，第一通孔和第二通孔相对设置；框架体的至少部分区域设有腔室，与第一通孔联通，且腔室内设有传动机构；第一自转轴件，设于第一通孔内，且与传动机构电连接；第二自传轴件，设于第二通孔内；至少一个待镀工件，待镀工件通过第一自转轴件和第二自传轴件固定于框架体中部区域；驱动装置设置在框架体内壁或内部，且与传动机构电连接，驱动待镀工件做自转运动，该系统结构简单，适用于多种柱状镀膜需求，通用于多种溅射设备，成本低，可拆卸且镀膜效率高。
专利主权项内容
1.一种用于镀膜的独立自传系统，其特征在于，包括：
框架体，所述框架体包括中部区域和环绕所述中部区域的外框区域，所述外框区域包括第一相对框和第二相对框，所述第一相对框的内侧壁设有多个第一通孔和多个第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔相对设置；所述外框区域的至少部分区域设有腔室，所述腔室与所述第一通孔联通，且所述腔室内设有传动机构；
至少一个第一自转轴件，所述第一自转轴件包括第一端和第二端，所述第一端与所述第一通孔尺寸相配适，所述第一端设于所述第一通孔内，且与所述传动机构电连接；
至少一个第二自传轴件，所述第二自传轴件包括第三端和第四端，所述第三端与所述第二通孔尺寸相配适，所述第三端固定设于所述第二通孔内；
至少一个待镀工件，所述待镀工件置于所述中部区域，所述待镀工件的一端与所述第二端可拆卸连接设置，所述待镀工件的另一端与所述第四端可拆卸连接设置；
驱动装置，所述驱动装置设于所述第二相对框的内侧壁，或所述第二相对框内设有容纳腔，所述驱动装置设于所述容纳腔内，且临近所述第一通孔设置，所述驱动装置与所述传动机构电连接，所述驱动装置被配置为，驱动所述传动机构带动所述第二自传轴件和所述第二自传轴件旋转，进而驱动所述待镀工件绕所述待镀工件中心轴做自转运动。 数据由整理