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半导体陶瓷基板退钛设备
申请人信息
- 申请人:深圳市虹喜科技发展有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市龙岗区龙岗街道龙西社区李屋村大发新区连心路24号A栋六层601号
- 发明人: 深圳市虹喜科技发展有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 半导体陶瓷基板退钛设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420712757.2 |
| 申请日 | 2024/4/8 |
| 公告号 | CN222119395U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23F1/08 |
| 权利人 | 深圳市虹喜科技发展有限公司 |
| 发明人 | 王沛丰; 吴旭明; 蔡良胜; 杨雪荣; 陈阳 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区龙岗街道龙西社区李屋村大发新区连心路24号A栋六层601号 |
摘要文本
本实用新型公开了半导体陶瓷基板退钛设备，涉及金属材料的化学法蚀刻技术领域，半导体陶瓷基板退钛设备，包括退钛操作台，所述退钛操作台的顶端设置有蚀刻设备，退钛操作台的顶端开设有滑槽，滑槽的内部转动连接有螺纹杆，螺纹杆的外表面螺纹套接有滑块，滑块的顶端固定连接有定位板，定位板的顶端开设有固定槽，固定槽的内部设置有固定组件，通过第一夹板与半圆夹块的配合使用，能够使半圆夹块在第一夹板的一侧灵活进行拆卸，进而能够针对方形或者圆形的半导体陶瓷基板进行固定，同时半圆夹块的拆装较为便捷，能够方便工作人员更方便调节第一夹板，从而使该退钛设备装置的适用性得到提高。。
专利主权项内容
1.半导体陶瓷基板退钛设备，包括退钛操作台(1)，其特征在于：所述退钛操作台(1)的顶端设置有蚀刻设备(2)，退钛操作台(1)的顶端开设有滑槽(3)，滑槽(3)的内部转动连接有螺纹杆(11)，螺纹杆(11)的外表面螺纹套接有滑块(4)，滑块(4)的顶端固定连接有定位板(5)，定位板(5)的顶端开设有固定槽(6)，固定槽(6)的内部设置有固定组件。 （）