← 返回列表
一种单晶炉用热屏提升机构
申请人信息
- 申请人:连城凯克斯科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号
- 发明人: 连城凯克斯科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种单晶炉用热屏提升机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323335255.7 |
| 申请日 | 2023/12/7 |
| 公告号 | CN222119465U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C30B15/00 |
| 权利人 | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 发明人 | 辛珊; 李锋伟; 曹玉宝; 薛金鑫; 张怿; 高树良; 李春佳 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号 |
摘要文本
本实用新型是一种单晶炉用热屏提升机构，采用双电机控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降，可避免现有技术存在的不同步现象，省时省力，而且内部螺旋升降机改为模组结构，提高传动效率，简化结构。本实用新型的优点：结构设计合理，采用双侧单独电机转动的主动升降的模组形式，可有效提高结构的刚性以及定位精度，整体体积小，安装面积小，使用维护方便，不需要长期维护。可有效保证热屏升降稳定性，避免倾斜发生，保证晶体生长质量。蜗轮蜗杆传动设计配合优选的自锁螺母，可有效避免机构快速下滑，减少安全隐患。
专利主权项内容
1.一种单晶炉用热屏提升机构，其特征在于，包括对称设置在炉盖组件A顶部开口两侧的一对相同的提升组件，提升组件包括固定在炉盖组件A顶部的安装底板(1)，安装底板(1)上装有模组安装板(2)，模组安装板(2)一侧两端连接有加强筋板(3)，加强筋板(3)底端外侧通过电机安装板(4)连接伺服电机(5)，伺服电机(5)输出端通过联轴器连接蜗轮蜗杆减速机(6)，蜗轮蜗杆减速机(6)连接滚珠丝杆(7)底端，滚珠丝杆(7)沿模组安装板(2)高度方向延伸，滚珠丝杆(7)顶端通过联轴器连接编码器安装座(8)，编码器安装座(8)连接位于模组安装板(2)顶端的编码器(9)，滚珠丝杆(7)两侧的模组安装板(2)上设有导轨(10)，滑块(11)安装在滚珠丝杆(7)上且滑动连接在导轨(10)上，滑块(11)连接滑块安装板(12)，滑块安装板(12)连接提升载板(14)，滑块安装板(12)与提升载板(14)之间还连接有加强筋(17)，提升载板(14)安装在波纹管(15)顶端，波纹管(15)底端安装在安装底板(1)上，对应位置安装底板(1)底部通过止口安装伺服导向套(16)，两侧提升载板(14)连接水冷热屏。