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等离子蚀刻用清洗装置
申请人信息
- 申请人:新创电子技术(东莞)有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市长安镇长安兴发南路32号1号楼108室
- 发明人: 新创电子技术(东莞)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 等离子蚀刻用清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420404143.8 |
| 申请日 | 2024/3/4 |
| 公告号 | CN222112887U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B08B7/00 |
| 权利人 | 新创电子技术(东莞)有限公司 |
| 发明人 | 万琳旭 |
| 地址 | 广东省东莞市长安镇长安兴发南路32号1号楼108室 |
摘要文本
本实用新型公开了等离子蚀刻用清洗装置，涉及等离子蚀刻技术领域，包括真空腔和等离子清洗机，所述等离子清洗机内部设置有真空腔，所述真空腔上侧设置上电极板，所述真空腔下侧设置下电极板，所述上电极板与所述下电极板之间垂直设置有屏蔽板，所述屏蔽板外侧面环绕设置有U型电阻丝加热板，所述电阻丝加热板上部对称设置有接电柱，所述真空腔内的所述屏蔽板侧面上设置有限位块。本实用新型通过设置的屏蔽板、上电极板、下电极板、电阻丝加热板、真空腔和舱门，使得真空腔外侧通过电阻丝加热板得到加热升温，进而使得真空腔内放置的晶圆温度快速上升，提高去胶效率，进而缩短清洗装置对晶圆的清洗时间。 该数据由<>整理
专利主权项内容
1.等离子蚀刻用清洗装置，包括真空腔(3)和等离子清洗机(1)，其特征在于：所述等离子清洗机(1)内部设置有真空腔(3)，所述真空腔(3)上侧设置上电极板(13)，所述真空腔(3)下侧设置下电极板(11)，所述上电极板(13)与所述下电极板(11)之间垂直设置有屏蔽板(12)，所述屏蔽板(12)外侧面环绕设置有U型电阻丝加热板(15)，所述电阻丝加热板(15)上部对称设置有接电柱(16)，所述真空腔(3)内的所述屏蔽板(12)侧面上设置有限位块(4)，所述限位块(4)上搭接有支撑板(5)，所述支撑板(5)上侧面中心设置有晶圆槽(14)，所述真空腔(3)内底侧设置有真空抽气孔(9)。