← 返回列表
一种夹持晶圆翻转的防水机械手
申请人信息
- 申请人:上海广川科技有限公司
- 申请人地址:200444 上海市宝山区山连路799号1幢1-3层
- 发明人: 上海广川科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种夹持晶圆翻转的防水机械手 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420851155.5 |
| 申请日 | 2024/4/23 |
| 公告号 | CN222115108U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B25J15/00 |
| 权利人 | 上海广川科技有限公司 |
| 发明人 | 曲泉铀; 杨琦; 刘恩龙; 武一鸣; 中島隆志; 川辺哲也; 古市昌稔; 张平; 周伟强; 王贺明; 贾豪; 李家璇; 焦子洋; 西超博; 方指东; 苗义; 朱骏驰; 王晨旭; 张文磊; 徐圳 |
| 地址 | 上海市宝山区山连路799号1幢1-3层 |
摘要文本
本实用新型提供了一种夹持晶圆翻转的防水机械手，其包括：基座、手指件、限位件、防水套、翻转单元、伸缩单元，其中翻转单元包括：旋转传动机构、花键单元、主法兰件，基座上设有主轴孔，花键单元与基座配接，主法兰件后端穿过主轴孔与花键单元的螺母端连接，主法兰件前端设有阻流腔，阻流腔开口处与手指件连接，花键单元的轴部前端穿过阻流腔的内孔与限位件连接、尾端与伸缩单元传动连接，以控制手指件与限位件相对位移以定义出晶圆夹持位，防水套前后开口分别套接在阻流腔的内孔及限位件处，以覆盖自阻流腔伸出的花键单元的轴部，旋转传动机构的传动端与花键单元的螺母端传动连接。籍此以支持对晶圆进行夹持及翻转，并结构上具备防水性。
专利主权项内容
1.一种夹持晶圆翻转的防水机械手，其特征在于包括：基座、手指件、限位件、防水套、翻转单元、伸缩单元，其中翻转单元包括：旋转传动机构、花键单元、主法兰件，所述基座上设有主轴孔，所述花键单元与基座配接，所述主法兰件后端穿过主轴孔与花键单元的螺母端连接，所述主法兰件前端设有阻流腔，所述阻流腔开口处与手指件连接，所述花键单元的轴部前端穿过阻流腔的内孔与限位件连接、尾端与伸缩单元传动连接，以控制手指件与限位件相对位移以定义出晶圆夹持位，所述防水套前后开口分别套接在阻流腔的内孔及限位件处，以覆盖自阻流腔伸出的花键单元的轴部，所述旋转传动机构的传动端与花键单元的螺母端传动连接。