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一种具有自动门结构的等离子处理装置
申请人信息
- 申请人:深圳市奥普斯等离子体科技有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道回龙埔社区花样年乐年广场13号楼A单元1606
- 发明人: 深圳市奥普斯等离子体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种具有自动门结构的等离子处理装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420355647.5 |
| 申请日 | 2024/2/27 |
| 公告号 | CN222106594U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01J37/32 |
| 权利人 | 深圳市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 发明人 | 欧阳军; 刘华光 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区龙城街道回龙埔社区花样年乐年广场13号楼A单元1606 |
摘要文本
本申请公开了一种具有自动门结构的等离子处理装置，涉及等离子设备技术领域，其包括控制单元、真空腔体和真空泵，所述真空腔体包括电路结构和电极结构，所述真空腔体还包括设备壳体、设置在所述设备壳体上的内门框和用于扣合在所述内门框上的外门；还包括用于驱使所述外门自动打开或者闭合的自动控制系统。本申请具有改善因工作人员多次重复开启关闭反应仓门造成的工作人员作业量增加的效果。
专利主权项内容
1.一种具有自动门结构的等离子处理装置，其特征在于：包括控制单元(1)、真空腔体(2)和真空泵(3)，所述真空腔体(2)包括电路结构和电极结构(24)，其特征在于：所述真空腔体(2)还包括设备壳体(21)、设置在所述设备壳体(21)上的内门框(22)和用于扣合在所述内门框(22)上的外门(23)；
还包括用于驱使所述外门(23)自动打开或者闭合的自动控制系统(4)；
所述自动控制系统(4)包括两组设置在所述设备壳体(21)上的驱动组件(41)，两组所述驱动组件(41)上下对称设置且布设于所述设备壳体(21)于所述内门框(22)相对两侧边沿处；
所述自动控制系统(4)还包括用于控制所述驱动组件(41)感应启动的启动组件(42)和用于控制所述驱动组件(41)自动停止的停止组件(43)。