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半导体衬底制绒承载装置和制绒设备
申请人信息
- 申请人:安徽华晟新能源科技股份有限公司
- 申请人地址:242000 安徽省宣城市经济技术开发区清流路99号
- 发明人: 安徽华晟新能源科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 半导体衬底制绒承载装置和制绒设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420378698.X |
| 申请日 | 2024/2/28 |
| 公告号 | CN222106633U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 安徽华晟新能源科技股份有限公司 |
| 发明人 | 叶飞; 徐昕 |
| 地址 | 安徽省宣城市经济技术开发区清流路99号 |
摘要文本
本实用新型提供一种半导体衬底制绒承载装置和制绒设备，半导体衬底制绒承载装置用于承载半导体衬底至溶液容置槽中，包括：第一侧板、第二侧板、底杆单元、侧杆单元；侧杆单元包括相互平行且对应设置的第一侧杆组和第二侧杆组；第一侧杆组和第二侧杆组的表面均设有若干组卡齿，适于卡接半导体衬底；相邻组卡齿之间的间距包括第一间距至第M间距，M为大于1的整数，对于第m间距，m为大于或等于1且小于或等于M的整数, 有：当m为奇数时，距离为X1，当m为偶数时，距离为X2，X1小于X2。采用本实用新型提供的半导体衬底制绒承载装置对半导体衬底制绒后，有利于提高异质结电池的背面钝化效果且减少了工艺流程。
专利主权项内容
1.一种半导体衬底制绒承载装置，用于承载半导体衬底至溶液容置槽中，其特征在于，包括：
第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板相互平行且相对设置；
底杆单元，所述底杆单元适于连接所述第一侧板和所述第二侧板；
侧杆单元，所述侧杆单元包括相互平行且对应设置的第一侧杆组和第二侧杆组，所述第一侧杆组和所述第二侧杆组位于所述第一侧板和所述第二侧板之间；
所述第一侧杆组和所述第二侧杆组的表面均设有若干组卡齿，所述卡齿适于卡接所述半导体衬底；相邻组卡齿之间的间距包括第一间距至第M间距，M为大于1的整数，对于第m间距，m为大于或等于1且小于或等于M的整数，有：当m为奇数时，距离为X1，当m为偶数时，距离为X2，X1小于X2。 更多数据：搜索