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立式石英舟
申请人信息
- 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司
- 申请人地址:213133 江苏省常州市新北区黄河西路790号
- 发明人: 常州捷佳创精密机械有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 立式石英舟 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420774297.6 |
| 申请日 | 2024/4/15 |
| 公告号 | CN222106636U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 发明人 | 李操政; 邓金生; 谭惊电 |
| 地址 | 江苏省常州市新北区黄河西路790号 |
摘要文本
本实用新型公开了一种立式石英舟。所述立式石英舟包括：相互平行设置的顶板和底板，竖直连接在顶板与底板之间的多根立柱，立柱沿竖直方向间隔设有用于放置硅片的放置槽，在立柱上设置挂板，挂板包括与立柱连接的连接块，安装在连接块上并凸出所述立式石英舟侧面的挂钩，使立式石英舟可以通过挂板挂在扩散炉内。解决了现有技术石英舟放入扩散炉内后稳定性较差的技术问题。
专利主权项内容
1.一种立式石英舟，包括相互平行设置的顶板和底板，竖直连接在所述顶板与所述底板之间的多根立柱，所述立柱沿竖直方向间隔设有用于放置硅片的放置槽，其特征在于，还包括安装在所述立柱上的挂板；
其中，所述挂板包括与所述立柱连接的连接块，安装在连接块上并凸出所述立式石英舟侧面的挂钩。 （更多数据，详见）