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一种石英花篮
申请人信息
- 申请人:杭州致善微电子科技有限公司
- 申请人地址:310000 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块16号6幢509室
- 发明人: 杭州致善微电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种石英花篮 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420898809.X |
| 申请日 | 2024/4/28 |
| 公告号 | CN222106638U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 杭州致善微电子科技有限公司 |
| 发明人 | 张占龙; 耿已昌; 杨爽 |
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块16号6幢509室 |
摘要文本
数据由整理 本实用新型涉及一种石英花篮，包括底座、两根第一立柱、两根第二立柱、顶部连接件和提手，所述底座包括第一横杆和底座定位柱，第一横杆连接底座定位柱；底座连接第一立柱和第二立柱的一端；第一立柱和第二立柱的另一端连接顶部连接件，所述顶部连接件包括第二横杆和顶部定位柱，第二横杆连接顶部定位柱；所述顶部连接件上连接提手；第一立柱具有若干第一放置槽，第二立柱具有若干第二放置槽，第一放置槽与第二放置槽成组设置，第一放置槽与第二放置槽的中心连线的角度为1‑3°。本申请通过石英花篮的第一放置槽和第二放置槽水平放置晶圆片，从而改善腐蚀晶圆片，片内不均的问题。
专利主权项内容
数据由整理 。1.一种石英花篮，其特征在于，包括底座、两根第一立柱、两根第二立柱、顶部连接件和提手，所述底座包括第一横杆和底座定位柱，第一横杆连接底座定位柱；底座连接第一立柱和第二立柱的一端；第一立柱和第二立柱的另一端连接顶部连接件，所述顶部连接件包括第二横杆和顶部定位柱，第二横杆连接顶部定位柱；所述顶部连接件上连接提手；第一立柱具有若干第一放置槽，第二立柱具有若干第二放置槽，第一放置槽与第二放置槽成组设置，第一放置槽与第二放置槽的中心连线与底座平面的角度为1-3°。