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薄膜处理设备
申请人信息
- 申请人:浙江爱旭太阳能科技有限公司; 广东爱旭科技有限公司; 天津爱旭太阳能科技有限公司; 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
- 申请人地址:322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
- 发明人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司; 广东爱旭科技有限公司; 天津爱旭太阳能科技有限公司; 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 薄膜处理设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323286374.8 |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN222106738U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司; 广东爱旭科技有限公司; 天津爱旭太阳能科技有限公司; 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 |
| 发明人 | 吴涛; 王宏涛; 宗贝贝; 周晓波; 牛闯; 周友成; 贺良琴; 邱开富; 王永谦; 陈刚 |
| 地址 | 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号; 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号; 天津市北辰区天津北辰经济技术开发区科技园高新大道73号; 广东省珠海市斗门区富山工业园珠峰大道西6号139室 |
摘要文本
本实用新型提供了一种薄膜处理设备。包括：主体部，主体部具有间隔设置的第一腔室和第二腔室，第一腔室具有与外界连通的第一开口，第二腔室具有与外界连通的第二开口；上下料组件，上下料组件的至少一部分设置在第一腔室的内部；移动载板，移动载板与主体部连接，且移动载板的至少一部分能够在第一开口和第二开口之间运动；溶剂添加组件，溶剂添加组件的至少一部分设置在第二腔室的内部，溶剂添加组件的至少另一部分设置在第二腔室的外部；挡板组件，挡板组件的至少一部分活动设置在第二开口处并能够遮挡或者避让第二开口。本实用新型解决了现有技术中风刀辅助热退火、真空干燥辅助热退火工艺得到的该钛矿薄膜会存在较多的内部缺陷的问题。
专利主权项内容
1.一种薄膜处理设备，其特征在于，包括：
主体部(10)，所述主体部(10)具有间隔设置的第一腔室(11)和第二腔室(12)，所述第一腔室(11)具有与外界连通的第一开口，所述第二腔室(12)具有与外界连通的第二开口；
上下料组件，所述上下料组件的至少一部分设置在所述第一腔室(11)的内部；
移动载板(20)，所述移动载板(20)与所述主体部(10)连接，且所述移动载板(20)的至少一部分能够在所述第一开口和所述第二开口之间运动；
溶剂添加组件(30)，所述溶剂添加组件(30)的至少一部分设置在所述第二腔室(12)的内部，所述溶剂添加组件(30)的至少另一部分设置在所述第二腔室(12)的外部；
挡板组件，所述挡板组件的至少一部分活动设置在所述第二开口处并能够遮挡或者避让所述第二开口。