检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

专利主权项内容

1.一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，其中，所述夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿所述电极侧贯通孔和所述检查侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与电极接触的多根探针，所述检查夹具的特征在于，所述检查侧支承体包括：多个载放板，多个该载放板沿水平方向排列，且分别具有能够与所述检查对象接触的载放面和供所述探针贯穿的贯通孔；以及支承板，该支承板从所述电极侧支承体一侧对多个所述载放板进行支承，且形成有供所述探针贯穿的贯通孔，所述检查侧支承体还包括多个中间板，多个该中间板以分别与多个所述载放板对应的方式夹设在所述载放板与所述支承板之间，且分别形成有供所述探针贯穿的贯通孔，所述载放板、所述中间板和所述支承板通过螺钉固定在一起。