单晶炉尾气除尘装置与单晶硅生产线

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本申请涉及单晶炉尾气除尘装置与单晶硅生产线。一种单晶炉尾气除尘装置，所述单晶炉尾气除尘装置包括：除尘罐；分隔件，位于所述除尘罐内，并将所述除尘罐的内腔分隔为相互独立的洁净腔和集尘腔，所述集尘腔具有用于和单晶炉的尾气口连通的进气口，所述洁净腔具有用于和真空抽吸件连通的排气口，所述分隔件上设有连通所述洁净腔和所述集尘腔的通孔；滤袋，连接于所述分隔件，并自所述分隔件伸入所述集尘腔内，所述滤袋的袋口连通于所述通孔；喷管，经所述袋口伸入所述滤袋内，所述喷管用于朝所述滤袋内吹气。上述单晶炉尾气除尘装置，能够较为彻底地去除滤袋上附着的灰尘，使其保持较佳的过滤效果。