一种晶圆测试工装

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无锡芯洋科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种晶圆测试工装，属于芯片测试技术领域。所述晶圆测试工装包括底板，所述底板上端设置有限位块，所述限位块上端设置有滑块，所述滑块一侧设置有连接杆，所述连接杆一侧设置有测试机，所述底板上端设置有下耦合板，所述下耦合板上端设置有液压柱，所述液压柱上端设置有上耦合板，上耦合板上端设置有滑槽，所述上耦合板上端设置有吸附环，所述滑槽内壁设置有定位块，所述定位块下端设置有滑板，所述上耦合板上端设置有吸附槽。本实用新型通过在上耦合板上设置的吸附槽、滑槽与定位块，对不同大小的晶圆进行固定安装，增加了装置的适用范围，通过下耦合板上端设置的液压柱，便安放或者拿出晶圆，提高了便捷性。