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一种便于固定的光刻机镜头支架
申请人信息
- 申请人:苏州杰悦五金机械有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市相城区黄埭镇春丰路37号
- 发明人: 苏州杰悦五金机械有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种便于固定的光刻机镜头支架 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323561516.7 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN222105826U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 苏州杰悦五金机械有限公司 |
| 发明人 | 蔡国栋 |
| 地址 | 江苏省苏州市相城区黄埭镇春丰路37号 |
摘要文本
苏州杰悦五金机械有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种便于固定的光刻机镜头支架,包括:底板和固定安装在底板上方左侧的水冷机构;还包括:底板,所述底板的上侧设有夹持机构,其中夹持机构包括左挡板、压板和右挡板,所述左挡板和底板滑动连接,且压板贯穿通过左挡板;所述底板的上侧设有降温机构,其中降温机构包括流水槽、进水孔、出水孔和水冷机构,所述流水槽开设在左挡板内,且流水槽关于左挡板的竖直中轴线前后对称。该便于固定的光刻机镜头支架,各个组件都可以拆卸下来,方便搬运且占用较少的空间,且在运转过程中可以对镜头本身降温,防止温度过高损坏镜头,压板和右挡板的配合使用,根据镜头的实际大小进行调节,从而固定住不同尺寸的镜头。
专利主权项内容
1.一种便于固定的光刻机镜头支架,包括:底板(1)和固定安装在底板(1)上方左侧的水冷机构(17);
其特征在于,还包括:
底板(1),所述底板(1)的上侧设有夹持机构,其中夹持机构包括左挡板(2)、压板(9)和右挡板(12),所述左挡板(2)和底板(1)滑动连接,且压板(9)贯穿通过左挡板(2);
所述底板(1)的上侧设有降温机构,其中降温机构包括流水槽(3)、进水孔(4)、出水孔(5)和水冷机构(17),所述流水槽(3)开设在左挡板(2)内,且流水槽(3)关于左挡板(2)的竖直中轴线前后对称。