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一种便于固定的光刻机镜头支架

申请号: CN202323561516.7
申请人: 苏州杰悦五金机械有限公司
更新日期: 2026-03-28

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种便于固定的光刻机镜头支架
专利类型 实用新型
申请号 CN202323561516.7
申请日 2023/12/26
公告号 CN222105826U
公开日 2024/12/3
IPC主分类号 G03F7/20
权利人 苏州杰悦五金机械有限公司
发明人 蔡国栋
地址 江苏省苏州市相城区黄埭镇春丰路37号

摘要文本

苏州杰悦五金机械有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种便于固定的光刻机镜头支架,包括:底板和固定安装在底板上方左侧的水冷机构;还包括:底板,所述底板的上侧设有夹持机构,其中夹持机构包括左挡板、压板和右挡板,所述左挡板和底板滑动连接,且压板贯穿通过左挡板;所述底板的上侧设有降温机构,其中降温机构包括流水槽、进水孔、出水孔和水冷机构,所述流水槽开设在左挡板内,且流水槽关于左挡板的竖直中轴线前后对称。该便于固定的光刻机镜头支架,各个组件都可以拆卸下来,方便搬运且占用较少的空间,且在运转过程中可以对镜头本身降温,防止温度过高损坏镜头,压板和右挡板的配合使用,根据镜头的实际大小进行调节,从而固定住不同尺寸的镜头。

专利主权项内容

1.一种便于固定的光刻机镜头支架,包括:底板(1)和固定安装在底板(1)上方左侧的水冷机构(17);
其特征在于,还包括:
底板(1),所述底板(1)的上侧设有夹持机构,其中夹持机构包括左挡板(2)、压板(9)和右挡板(12),所述左挡板(2)和底板(1)滑动连接,且压板(9)贯穿通过左挡板(2);
所述底板(1)的上侧设有降温机构,其中降温机构包括流水槽(3)、进水孔(4)、出水孔(5)和水冷机构(17),所述流水槽(3)开设在左挡板(2)内,且流水槽(3)关于左挡板(2)的竖直中轴线前后对称。