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一种磁控溅射靶材的固定装置
摘要文本
合肥铠柏科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种磁控溅射靶材的固定装置，涉及靶材固定技术领域。本实用新型包括底板，底板顶端放置有中间板，中间板顶端放置有顶板，且底板、中间板和顶板之间安装有若干个平头螺钉，底板和顶板均开设有至少两个过口，中间板于过口竖直向处开设有夹口，竖直向的两个过口和夹口之间设置有夹块槽，夹块槽之间夹设有若干个靶条，顶板顶端一侧设置有若干个限位口，限位口插接有销钉，中间板适配销钉插接插板。本实用新型通过单次安装两组多个靶条，使得单次可电镀溅射的基材更多，提高了溅射效率。
专利主权项内容
1.一种磁控溅射靶材的固定装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)顶端放置有中间板(2)，所述中间板(2)顶端放置有顶板(3)，且所述底板(1)、中间板(2)和所述顶板(3)之间安装有若干个平头螺钉(4)，所述底板(1)和所述顶板(3)均开设有至少两个过口(5)，中间板(2)于所述过口(5)竖直向处开设有夹口(6)，竖直向的两个所述过口(5)和所述夹口(6)之间设置有夹块槽(7)，所述夹块槽(7)之间夹设有若干个靶条(8)，所述顶板(3)顶端一侧设置有若干个限位口(9)，所述限位口(9)插接有销钉(10)，所述中间板(2)适配所述销钉(10)插接插板(11)。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种磁控溅射靶材的固定装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323416220.6 |
| 申请日 | 2023/12/14 |
| 公告号 | CN222100129U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 合肥铠柏科技有限公司 |
| 发明人 | 杨楷 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区创新大道1858号瀚海创谷创业园101室 |