一种真空镀膜舱及真空镀膜设备

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广东振华科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种真空镀膜舱及真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。真空镀膜舱包括真空舱、抽真空组件和第一超高真空插板阀，真空舱具有多个抽气端，多个抽气端在真空舱的延伸方向相间隔设置；抽真空组件通过第一超高真空插板阀与抽气端连接，第一超高真空插板阀至少能够使真空舱和抽真空组件在断开状态和连通状态之间切换。本申请采用第一超高真空插板阀替代挡板阀，能够降低真空镀膜舱需要抽空气的体积，以及通过分布多个抽气端能够加速抽排速度和抽排均匀度，进而利于提高真空镀膜舱抽真空效率。