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单晶炉托棒装置及单晶炉设备
摘要文本
三一硅能(朔州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及单晶硅制造技术领域,具体涉及单晶炉托棒装置及单晶炉设备。本实用新型提供的一种单晶炉托棒装置,设置于单晶炉的副室上,其中,所述副室设置有观测窗口,所述单晶炉托棒装置包括:固定部,与所述副室的外侧壁固定连接;折叠部,与所述固定部可折叠地相连接,所述折叠部适于在折叠状态和展开状态之间切换;托臂,与所述折叠部相连接;其中,所述折叠部在展开状态下,所述托臂位于所述观测窗口的内部,适于托住所述副室内的晶棒;所述折叠部在折叠状态下,所述托臂位于所述观测窗口的外部的一侧。本实用新型提供的单晶炉托棒装置及单晶炉设备,其能够解决晶棒从副室取出过程中容易发生偏斜的问题。
专利主权项内容
1.一种单晶炉托棒装置,其特征在于,设置于单晶炉的副室(11)上,其中,所述副室(11)设置有观测窗口(16),所述单晶炉托棒装置包括:
固定部(12),与所述副室(11)的外侧壁固定连接;
折叠部(15),与所述固定部(12)可折叠地相连接,所述折叠部(15)适于在折叠状态和展开状态之间切换;
托臂(14),与所述折叠部(15)相连接;其中,
所述折叠部(15)在展开状态下,所述托臂(14)位于所述观测窗口(16)的内部,适于托住所述副室(11)内的晶棒;所述折叠部(15)在折叠状态下,所述托臂(14)位于所述观测窗口(16)的外部的一侧。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 单晶炉托棒装置及单晶炉设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420804500.X |
| 申请日 | 2024/4/17 |
| 公告号 | CN222100197U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | C30B15/32 |
| 权利人 | 三一硅能(朔州)有限公司 |
| 发明人 | 张志龙; 罗忠武 |
| 地址 | 山西省朔州市平鲁经济技术开发区纬二路2号-1 |