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一种碳化硅晶体的制备装置
摘要文本
厦门福纳新材料科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种碳化硅晶体的制备装置，包括碳源料仓、硅源料仓和长晶室，碳源料仓和硅源料仓之间的传输通道上设有第一阀门组件，硅源料仓和长晶室之间的传输通道上设有第二阀门组件，碳源料仓、硅源料仓和长晶室的外部分别套设有感应加热用的第一感应加热线圈、第二感应加热线圈和第三感应加热线圈。本实用新型的制备装置能够将充足的气态单质碳输送至硅源料仓，同时还能及时将硅源料仓中生成的碳化硅原料气传送至长晶室，硅源料仓中始终保持充足的硅源，使得硅源料仓中的原料始终保持相同的碳化程度，从而使硅源料仓和长晶室中的气相组分保持均匀性，提高碳源和硅源的反应速率和利用率，最终得到高品质的碳化硅晶体。。
专利主权项内容
1.一种碳化硅晶体的制备装置，其特征在于：包括依次连通的碳源料仓(1)、硅源料仓(3)和长晶室(5)，碳源料仓(1)和硅源料仓(3)之间的传输通道上设有第一阀门组件，第一阀门组件与一第一驱动部件传动连接，通过第一驱动部件控制第一阀门组件进行开关动作，硅源料仓(3)和长晶室(5)之间的传输通道上设有第二阀门组件，第二阀门组件与一第二驱动部件传动连接，通过第二驱动部件控制第二阀门组件进行开关动作，碳源料仓(1)、硅源料仓(3)和长晶室(5)的外部分别套设有感应加热用的第一感应加热线圈(11)、第二感应加热线圈(12)和第三感应加热线圈(13)。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种碳化硅晶体的制备装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420524113.0 |
| 申请日 | 2024/3/18 |
| 公告号 | CN222100202U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | C30B25/00 |
| 权利人 | 厦门福纳新材料科技有限公司 |
| 发明人 | 雷斌; 朱常锋; 廖炳文; 高鹏举; 李新德; 梁业明 |
| 地址 | 福建省厦门市火炬高新区创业园新业楼5FC室 |