一种碳化硅晶体的制备装置

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厦门福纳新材料科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种碳化硅晶体的制备装置，包括相互连通的碳源料仓和生长仓以及一伸入生长仓内的籽晶轴，碳源料仓和生长仓之间的传输通道上设有阀门组件，阀门组件与一驱动部件传动连接，通过驱动部件控制阀门组件进行开关动作，碳源料仓和生长仓的外部分别套设有感应加热用的第一感应加热线圈和第二感应加热线圈。本实用新型的制备装置能够将充足的气态单质碳输送至生长仓，保证生长仓中始终有充足的碳源，使得生长仓中的原料始终保持相同的碳浓度，从而使生长仓中的溶液组分保持均匀性，提高碳源和硅源的反应速率和利用率，最终得到高品质的碳化硅晶体。