晶体生长炉

摘要文本

芜湖东旭光电装备技术有限公司; 东旭科技集团有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种晶体生长炉，包括：炉体，炉体内设置有钨筒和加热装置，钨筒的外侧与炉体之间设置有侧保温结构；侧保温结构包括：热场构件和侧保温层；热场构件为刚性筒型结构，包围设置在钨筒与炉体之间；侧保温层为氧化锆砂填充层，氧化锆砂填充层填充设置在钨筒与热场构件之间。本申请的晶体生长炉，通过刚性的热场构件和氧化锆砂填充层形式的侧保温层，组成了整体结构坚固且耐高温的侧保温结构，其结构稳定不易变形，且热稳定性高，能够确保炉体内热场梯度的稳定，提升晶体产出良率，降低晶体生产成本。