本发明提供的升降装置和清洗系统，用于驱动腔体进行升降运动，其包括主升降机构与辅助调节机构，主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降，辅助调节机构与升降臂连接，用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。
借助本发明的升降装置，一方面，在将水平放置的腔体放置到具有倾斜角的清洗槽中时，利用主升降机构将腔体的一端放在清洗槽的底部，再利用辅助调节机构调节腔体的水平中心线与水平面的夹角，以将腔体的另一端放置在清洗槽中，避免对腔体产生碰撞；另一方面，当腔体清洗完毕，将腔体从清洗槽中移出时，利用辅助调节机构使腔体的水平中心线与水平面之间形成夹角，以使残留在腔体中的清洗液倾倒出去，易于腔体的干燥。

孙文婷 王锐廷 李广义 姬丹丹

北京北方华创微电子装备有限公司

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本发明提供的升降装置和清洗系统，用于驱动腔体进行升降运动，其包括主升降机构与辅助调节机构，主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降，辅助调节机构与升降臂连接，用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。
借助本发明的升降装置，一方面，在将水平放置的腔体放置到具有倾斜角的清洗槽中时，利用主升降机构将腔体的一端放在清洗槽的底部，再利用辅助调节机构调节腔体的水平中心线与水平面的夹角，以将腔体的另一端放置在清洗槽中，避免对腔体产生碰撞；另一方面，当腔体清洗完毕，将腔体从清洗槽中移出时，利用辅助调节机构使腔体的水平中心线与水平面之间形成夹角，以使残留在腔体中的清洗液倾倒出去，易于腔体的干燥。