在更换液体时抑制向容器内过量补充液体的情况。
一种液体循环装置,其特征在于,包括:容器(31),其贮存药液;蚀刻装置(20),其利用药液来处理基板(10);第一泵(41),其将容器(31)内的药液供给至蚀刻装置(20);第二泵(42),其将蚀刻装置(20)用过的药液供给至容器(31);液位传感器(53),其检测到容器(31)内的药液的液位变得低于预先规定的高度,弹簧(33),其通过随着容器(31)内的药液的量减少,使容器(31)上升,从而抑制容器(31)内的药液的液位低于液位传感器(53)。
寺尾裕介
夏普株式会社
日本国大阪府堺市堺区匠町1番地
在更换液体时抑制向容器内过量补充液体的情况。
一种液体循环装置,其特征在于,包括:容器(31),其贮存药液;蚀刻装置(20),其利用药液来处理基板(10);第一泵(41),其将容器(31)内的药液供给至蚀刻装置(20);第二泵(42),其将蚀刻装置(20)用过的药液供给至容器(31);液位传感器(53),其检测到容器(31)内的药液的液位变得低于预先规定的高度,弹簧(33),其通过随着容器(31)内的药液的量减少,使容器(31)上升,从而抑制容器(31)内的药液的液位低于液位传感器(53)。