本发明公开了一种洁净室过滤装置，包括：轨道设备，设于多个洁净室之间，用于将装载设备移动至所述洁净室内；缓冲区域，位于所述洁净室之间的连接处，所述缓冲区域与所述轨道设备卡合连接；空气输送设备，与所述缓冲区域连接，所述空气输送设备用于输送空气；空气过滤设备，位于所述缓冲区域的顶端，且将所述空气输送设备与所述缓冲区域连通；压力控制设备，位于所述缓冲区域内，所述压力控制设备与所述空气输送设备连接；其中，所述压力控制设备控制所述缓冲区域内的压力高于所述缓冲区域两侧的所述洁净室的压力。
本发明可以有效避免因装载设备例如天车运行，造成的相邻洁净室区域被污染的情况。

余学会 刘波

晶芯成(北京)科技有限公司

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本发明公开了一种洁净室过滤装置，包括：轨道设备，设于多个洁净室之间，用于将装载设备移动至所述洁净室内；缓冲区域，位于所述洁净室之间的连接处，所述缓冲区域与所述轨道设备卡合连接；空气输送设备，与所述缓冲区域连接，所述空气输送设备用于输送空气；空气过滤设备，位于所述缓冲区域的顶端，且将所述空气输送设备与所述缓冲区域连通；压力控制设备，位于所述缓冲区域内，所述压力控制设备与所述空气输送设备连接；其中，所述压力控制设备控制所述缓冲区域内的压力高于所述缓冲区域两侧的所述洁净室的压力。
本发明可以有效避免因装载设备例如天车运行，造成的相邻洁净室区域被污染的情况。