特别是麦克风类型的机电压力传感器系统，包括：机电换能器、信号处理装置、用于接纳机电换能器和/或信号处理装置的至少一个支撑件(20，30)的基板(1)、布置在基板(1)的上部面(3)上的保护盖(40),机电换能器和/或信号处理装置的支撑件(20，30)被容纳在位于基板的下部面上的至少一个腔室中。

菲利普·罗伯特

原子能和替代能源委员会

法国巴黎

特别是麦克风类型的机电压力传感器系统，包括：机电换能器、信号处理装置、用于接纳机电换能器和/或信号处理装置的至少一个支撑件(20，30)的基板(1)、布置在基板(1)的上部面(3)上的保护盖(40),机电换能器和/或信号处理装置的支撑件(20，30)被容纳在位于基板的下部面上的至少一个腔室中。