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专利名称
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专利号
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申请日期
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专利状态
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1 | MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备 | CN201880026695.7 | 2018-12-29 | 审查中-实审 |
2 | MEMS麦克风 | CN201980032203.X | 2019-05-14 | 审查中-实审 |
3 | MEMS麦克风及其封装结构 | CN202021471044.X | 2020-07-23 | 有效专利 |
4 | 具有壳体的麦克风单元 | CN201810004061.3 | 2018-01-03 | 发明公开 |
5 | 微机电系统(MEMS)麦克风偏置电压 | CN201780026534.3 | 2017-04-27 | 审查中-实审 |
6 | 具有固定的内部区域的微机电麦克风 | CN201680058133.1 | 2016-07-15 | 发明公开 |
7 | 麦克风装置和制造麦克风装置的方法 | CN201880033580.0 | 2018-05-24 | 有效专利 |
8 | 差分MEMS麦克风 | CN201780009529.1 | 2017-02-03 | 有效专利 |
9 | 具有使用穿硅过孔(TSV)的集成麦克风器件的管芯 | CN201480081235.6 | 2014-09-17 | 有效专利 |
10 | 一种微机电系统麦克风晶圆级封装结构 | CN202020849780.8 | 2020-05-20 | 有效专利 |
11 | MEMS麦克风系统和方法 | CN201780097788.4 | 2017-10-19 | 审查中-实审 |
12 | 压力传感器,特别是具有改进布局的麦克风 | CN201780061393.9 | 2017-10-03 | 有效专利 |
13 | MEMS麦克风及其形成方法 | CN201710867168.6 | 2017-09-22 | 审查中-实审 |
14 | 硅麦克风及其制作方法和电子设备 | CN202110190866.3 | 2021-02-20 | 有效专利 |
15 | 具有集成压力传感器的麦克风装置 | CN201780038661.5 | 2017-05-24 | 审查中-实审 |