微机电麦克风具有固定区域或另一类型的机械支撑的区域，其可以减轻或避免微机电麦克风中的机械不稳定性。
固定区域可以通过经由刚性电介质构件将膜片的内部部分刚性地附接到微机电麦克风的背板而形成在微机电麦克风的膜片中。
刚性电介质构件可以在背板和膜片之间延伸。
在某些实施方案中，电介质构件可以是中空的，形成中心对称或具有另一种对称类型的外壳。
在其它实施方案中，电介质构件可以界定芯‑壳结构，其中第一电介质材料的外部外壳界定用第二电介质材料填充的内部开口。
多个电介质构件可以将膜片刚性地附接到背板。
延伸的电介质构件可以将非平面膜片刚性地附接到背板。

勒娜特·梅拉穆德·伯杰 S·巴拉坦 托马斯·陈

应美盛公司

美国加利福尼亚州

微机电麦克风具有固定区域或另一类型的机械支撑的区域，其可以减轻或避免微机电麦克风中的机械不稳定性。
固定区域可以通过经由刚性电介质构件将膜片的内部部分刚性地附接到微机电麦克风的背板而形成在微机电麦克风的膜片中。
刚性电介质构件可以在背板和膜片之间延伸。
在某些实施方案中，电介质构件可以是中空的，形成中心对称或具有另一种对称类型的外壳。
在其它实施方案中，电介质构件可以界定芯‑壳结构，其中第一电介质材料的外部外壳界定用第二电介质材料填充的内部开口。
多个电介质构件可以将膜片刚性地附接到背板。
延伸的电介质构件可以将非平面膜片刚性地附接到背板。