MEMS麦克风包含：具有开口部(11A)的玻璃基板(11)；膜片(13)，以覆盖开口部(11A)的方式设于玻璃基板(11)上，包含第一导电层(13B)；以及背板(16)，隔着空腔(15)设于膜片(13)的上方，具有供声波通过的多个贯通孔(18)，包含第二导电层(16A)。
第一导电层(13B)由金属或者导电性氧化物构成。
第二导电层(16A)由金属或者导电性氧化物构成。

后藤泰子 近森博之 野村直裕 稻垣直树

凸版印刷株式会社

日本东京都

MEMS麦克风包含：具有开口部(11A)的玻璃基板(11)；膜片(13)，以覆盖开口部(11A)的方式设于玻璃基板(11)上，包含第一导电层(13B)；以及背板(16)，隔着空腔(15)设于膜片(13)的上方，具有供声波通过的多个贯通孔(18)，包含第二导电层(16A)。
第一导电层(13B)由金属或者导电性氧化物构成。
第二导电层(16A)由金属或者导电性氧化物构成。