一种微机电系统（MEMS）麦克风，包括基座单元和设置在基座单元上的驱动系统。
驱动系统包括第一膜片、与第一膜片间隔开的第二膜片以及包括移动电极构件的梳齿反电极组件，反电极组件机械地联接到第一和第二膜片。
驱动系统还包括侧壁，侧壁将第一膜片机械地联接到第二膜片，从而限定密封的电极区域，并且密封的电极区域具有封装的气体压力，并且梳齿反电极组件被设置在密封的电极区域内。

D.C.迈塞尔 B.盖尔 张宇杰 A.多勒 G.哈提博奥卢

罗伯特·博世有限公司

德国斯图加特

一种微机电系统（MEMS）麦克风，包括基座单元和设置在基座单元上的驱动系统。
驱动系统包括第一膜片、与第一膜片间隔开的第二膜片以及包括移动电极构件的梳齿反电极组件，反电极组件机械地联接到第一和第二膜片。
驱动系统还包括侧壁，侧壁将第一膜片机械地联接到第二膜片，从而限定密封的电极区域，并且密封的电极区域具有封装的气体压力，并且梳齿反电极组件被设置在密封的电极区域内。