一种MEMS声音传感器，包括：基板；设置在基板上的第一声音传感单元及第二声音传感单元；其中，第一声音传感单元用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，第一声音传感单元包括第一背板，设置于基板上方；第一振膜，与第一背板相对设置且与第一背板之间存在间隙；第一振膜与第一背板构成电容结构；及第一连接柱，第一连接柱的第二端与第一背板固定连接；以将第一振膜固定支撑在第一背板上；其中，第一振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；质量块与第一背板之间存在间隙。

何宪龙 谢冠宏 邱士嘉

共达电声股份有限公司

261200 山东省潍坊市坊子区凤山路68号

一种MEMS声音传感器，包括：基板；设置在基板上的第一声音传感单元及第二声音传感单元；其中，第一声音传感单元用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，第一声音传感单元包括第一背板，设置于基板上方；第一振膜，与第一背板相对设置且与第一背板之间存在间隙；第一振膜与第一背板构成电容结构；及第一连接柱，第一连接柱的第二端与第一背板固定连接；以将第一振膜固定支撑在第一背板上；其中，第一振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；质量块与第一背板之间存在间隙。