对薄膜施加第1调制电压,将在薄膜中流过的电流的相位相对第1调制电压的相位的变化量与阈值进行比较,在检测到相位的变化量超过阈值时停止施加第1调制电压,从而在薄膜中高速地形成纳米孔隙。
柳川善光 武田健一 柳至 后藤佑介 松井一真
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