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专利摘要

本发明公开了一种基于二维材料制备三维结构的方法。
该方法先选取洁净的衬底,并在衬底上制备二维材料;利用光刻技术在步骤1中制备的二维材料上刻蚀图形;对衬底上的二维材料进行固定;利用二维材料转移的方法对二维材料进行局部拾取,之后使其部分脱离衬底,并进行拉伸或者压缩;将处理后的二维材料重新固定在衬底上,拾取臂释放处理后的二维材料,即得二维材料的三维结构的半成品;对半成品进行定形处理,最终得到成品。
本发明结合现有成熟的材料加工技术,形成各种复杂平面图形,且这些平面图形具有很好的灵活性适合用于制备不同的三维结构,成本低廉,方法简单,可大面积、大通量的制备,便于产业化,尤其适合用于制备微米尺寸的结构。

专利状态

基础信息

专利号
CN201811018589.2
申请日
2018-09-03
公开日
2019-02-01
公开号
CN109292723A
主分类号
/B/B81/ 作业;运输
标准类别
微观结构技术
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

万能 赵小康 徐康 邵志勇

申请人

东南大学

申请人地址

210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

专利摘要

本发明公开了一种基于二维材料制备三维结构的方法。
该方法先选取洁净的衬底,并在衬底上制备二维材料;利用光刻技术在步骤1中制备的二维材料上刻蚀图形;对衬底上的二维材料进行固定;利用二维材料转移的方法对二维材料进行局部拾取,之后使其部分脱离衬底,并进行拉伸或者压缩;将处理后的二维材料重新固定在衬底上,拾取臂释放处理后的二维材料,即得二维材料的三维结构的半成品;对半成品进行定形处理,最终得到成品。
本发明结合现有成熟的材料加工技术,形成各种复杂平面图形,且这些平面图形具有很好的灵活性适合用于制备不同的三维结构,成本低廉,方法简单,可大面积、大通量的制备,便于产业化,尤其适合用于制备微米尺寸的结构。

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