本发明为采用接触式法大规模定点捕获微米球的方法,以微纳米加工工艺制备的硅微米结构作为器件结构基础,采用方法一和方法二,分别实现无跨越微米结构的定点捕获和跨越微米结构的定点捕获。
这两种方法通过以宏观手势控制微观小球运动的方式,实现了低成本、接触式的操纵微粒移动与捕获,操作过程约十分钟,操作人员无需特殊技能培训,操作设备价格低廉。
该方法可以快速、高效、可重复地控制微粒的移动,实现大面积范围内的微米球移动和定点捕获。
朱梅 李杰
泰山学院
271000 山东省泰安市东岳大街525号
本发明为采用接触式法大规模定点捕获微米球的方法,以微纳米加工工艺制备的硅微米结构作为器件结构基础,采用方法一和方法二,分别实现无跨越微米结构的定点捕获和跨越微米结构的定点捕获。
这两种方法通过以宏观手势控制微观小球运动的方式,实现了低成本、接触式的操纵微粒移动与捕获,操作过程约十分钟,操作人员无需特殊技能培训,操作设备价格低廉。
该方法可以快速、高效、可重复地控制微粒的移动,实现大面积范围内的微米球移动和定点捕获。