提供可以减少半导体晶片的翘曲,同时减少破片产生的热固化性粘接片、和半导体装置的制造方法。
热固化性粘接片具有由树脂组合物形成的热固化性粘接层,所述树脂组合物具有:含有包含(甲基)丙烯酸酯和聚合引发剂的树脂成分和填料的热固化性粘接剂层,(甲基)丙烯酸酯包含固形(甲基)丙烯酸酯和三官能以上的(甲基)丙烯酸酯,树脂成分中的固形(甲基)丙烯酸酯的含有率为55wt%以上,树脂成分中的(甲基)丙烯酸酯的含有率乘以(甲基)丙烯酸酯的每单位分子量的官能团数所得的值的总和为2.7E‑03以上,填料的掺混量相对于树脂成分100质量份为80~220质量份。
森大地 石松朋之
迪睿合株式会社
日本东京都
提供可以减少半导体晶片的翘曲,同时减少破片产生的热固化性粘接片、和半导体装置的制造方法。
热固化性粘接片具有由树脂组合物形成的热固化性粘接层,所述树脂组合物具有:含有包含(甲基)丙烯酸酯和聚合引发剂的树脂成分和填料的热固化性粘接剂层,(甲基)丙烯酸酯包含固形(甲基)丙烯酸酯和三官能以上的(甲基)丙烯酸酯,树脂成分中的固形(甲基)丙烯酸酯的含有率为55wt%以上,树脂成分中的(甲基)丙烯酸酯的含有率乘以(甲基)丙烯酸酯的每单位分子量的官能团数所得的值的总和为2.7E‑03以上,填料的掺混量相对于树脂成分100质量份为80~220质量份。